HYBRID SYSTEMS

Automation

HYBRID SYSTEMS

Konzepte für ATM-VAC-Hybridlösungen.

 

Hybride Systeme, bestehend aus einer Kombination von atmosphärischen und vakuumtechnischen Prozessen - auch Kombinationsanlagen genannt - bieten eine Reiche von Vorteilen hinsichtlich Qualiät und Prozesssicherheit.

So werden Materialbeanspruchungen auf ein absolut notwendiges Minimum beschränkt, was gerade für sehr sensible Substrate von entscheidender Bedeutung ist.

Weiterhin werden Transportwege verkürzt und nicht zuletzt Kosten eingespart, wenn in kombinierten ATM-VAC-ATM - Anlagen atmospärische und Vakuumtechnische Prozesse in einem einzigen Substratlauf zusammengefasst werden.

 

 

 
 AVA - ATM-VAC-ATM - HYBRID COATING and LAMINATING SYSTEM

 Kombination von atmosphärischen und vakuumtechnischen Prozessen in EINEM Bahnlauf:
 Coating / Strukturierung / Annealing / Laminierung / Dicing / Testing
 MIN Materialbeanspruchung
 MIN Transportdistanzen
 KEIN Einfluss der atmosphärischen Umgebung
 MAX Produktivität und Prozessstabilität
 MAX Kapitalrendite!

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 Komponenten:

 

   

 RRU - Roll Resistor Unit

 Gasseprationssystem, optimiert für flexible und empfindliche Substrate.
 Konsequente Einseitenberührung schützt die aktive Substratseite.
 Verfügbar als Mehrstufensystem für den Einsatz im Hochvakuum.

 

 RRV - Roll Resistor Valve

 Load Lock System für sensible Substrate.
 Damit entsteht die Möglichkeit, Kombinationsanlagen ATM-VAC-ATM
 aus atmosphärischen Prozessen (ATM) und Vakuumprozessen (VAC) zu konfigurieren.
 Konsequente Einseitenberührung schützt die aktive Substratseite.
 Optionale Strahlungsfallen ermöglichen den Einsatz von EB Elektronenstrahlkomponenten
 innerhalb der Hochvakuumsektionen.

 

 ILS - Interleaf System

 Sensilble Subtrate und Beschichtungen erfordern bei der Lagerung in Form eines Coils eine Zwischenlage.
 Die Ab- und Aufwickelvorrichtungen können für solche Zwischenlayer ausgerüstet werden.

 

 FCS - Flex Carrier System

 Unterstützung des Substrathandlings für sensible Substrate.

 

 SCS - Substrate Cover System

 Schutzlayer für sensible Substrate und Beschichtungen; verfügbar für Vorder- und Rückseite.